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抛光垫有哪些作用?


 抛光垫又称抛光皮,抛光布,抛光片,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。
作用:
  ①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
  ②将抛光后便化学反应充分进行的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;
  ③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;
  ④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌。
抛光皮
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